设备（bèi）优（yōu）势

• 功能性能优势

  当前业内最（zuì）高性能，
  每小时出片量（WPH）超（chāo）过16000，远高于行业10000～12000的平均水平
  检（jiǎn）测量测精（jīng）度达到0.8um
  碎片率稳定低于0.05%
  漏检率<0.1%，过杀率< 0.05%

• 机电优势（shì）

  上料：两（liǎng）套（tào）缓存机（jī）构（gòu）无缝衔接上料（liào）；兼容多尺寸花篮 下料：采（cǎi）用伯努（nǔ）利悬浮式（shì）下料装置，保障极低的碎片率；并行多组独立下料装置；下（xià）料盒无缝切换
  电气（qì）优势：实时监控物（wù）料（liào），提示报（bào）警信息（xī），定位问题工位；各工位独立（lì）控（kòng）制，精（jīng）准调（diào）控

  
• 检测优势

  多工位检测（cè）硅片四（sì）周崩边及（jí）表面缺陷，采用识别硅材质的深度（dù）学习模型，高（gāo）精度完成检测（cè）

  
• 量（liàng）测（cè）优势

  上下双线扫相机精（jīng）准识别厚度、平面度和线痕
  在检（jiǎn）测阶段提前剔除隐裂和碎片，减少（shǎo）后（hòu）续下料（liào）分（fèn）拣负担