采用高(gāo)分辨率成像的明暗场晶(jīng)圆表面检测,基于图像算(suàn)法、检测(cè)模型和良品异常检测三种模式,检出晶圆表(biǎo)面缺陷,并提(tí)供数据(jù)统计分析
2D检测(cè)精确(què)度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏(lòu)检率
ppm
≤50
先进算法储备
AI大(dà)模型(xíng)与小模型(xíng)融合,支持基于良品和(hé)不良品(pǐn)的模型(xíng)训练(liàn)方式,支(zhī)持基于大模型的(de)智慧(huì)标(biāo)注和(hé)样本生成,解决样本(běn)不均(jun1)衡场(chǎng)景下的快(kuài)速上线,支(zhī)持增量学习模(mó)式,控制样本集规模,提高模型迭代速度,支持并(bìng)行、并(bìng)发(fā)的处(chù)理模式
数据统(tǒng)计和分析功能
用(yòng)于检测和生产过(guò)程(chéng)中的数(shù)据统计,提供(gòng)多种看板模版;针对指定缺陷种类或者指定时间段,提供多种(zhǒng)良率统计方(fāng)式;提供多种数据保存接口,生产(chǎn)过程可追溯;针对工业场景(jǐng)特点(diǎn),支持灵活自由(yóu)配(pèi)置显示单元、统计(jì)指标、结果查询、导出、上传逻(luó)辑;集成统一、可(kě)视化的多机位硬(yìng)件接口调试工具,使调试过程(chéng)更加便(biàn)捷
算(suàn)法特色
在复杂背景影(yǐng)像中。我们(men)依然(rán)可以将污染正确检出(chū);可以将特定(dìng)特(tè)征瑕疵给予消(xiāo)除(chú); 自(zì)动产生针痕屏蔽。消(xiāo)除针(zhēn)痕位置(zhì),抓取针痕外的瑕疵(cī)